ウェハエッジ検査付き プロトス移載機
輸送時のウェハ割れの問題を解消！ウェハの「移載」「エッジ欠け検査」を同時に自動で行います。
輸送時のウェハ割れの問題を解消！ウェハの「移載」「エッジ欠け検査」を同時に自動で行います。
半導体ウエハは大口径化と薄化が進んでおり、エッジ部の微細なクラック（欠け）によって製造工程中に割れる原因になります。
オリジナルのラインカメラと専用検査ソフトで高速検査で全数検査を可能とし、ウェハの破損を未然に防ぎます。
プロトスキャリアとカセット間のウェハを自動搬送しながら外周部を接写型ラインカメラminiでスキャンします。
実績あるコアテック製の接写型ラインカメラminiに『エッジプロ』を採用し、エッジ検査に特化しました。反りウェハでも鮮明にエッジ欠け検出が可能です。
エッジ検査と同時にOCRでウェハのIDを読み取り、エッジ欠け検査結果と紐付けすることで、トレーサビリティ管理に貢献します。
| ６インチ/８インチ | ||
| OCR有 | 12分/25枚 | 真空吸着方式 ※ベルヌーイ方式の場合はそれぞれ約3分長くなります。 |
| 検査有 | 20分/25枚 | |
| 検出感度 | チッピング 幅ｘ深さ μm | 50μmｘ100μm |
| 検査時間 | AF～回転～撮像～検査判定 | 約17秒 |
| 撮像反射方式 | CMOSセンサ＋内蔵GRINレンズアレイ、LED照明 焦点深度2.5mm：チッピング深さ120μm |
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| 構成機器 | 機能仕様 | |
| キャリア部 | バーコードリーダー | ロットID読取 － お客様データとのリンク |
| センサ | 飛び出し検知 6,8キャリア サイズ判別 | |
| ロボット部 | マッピングセンサ | キャリアのマッピング － お客様データとの照合 |
| 極薄特殊形状 真空チャック | 薄化ウェハ / 通常ピッチキャリア取出しモード | |
| 反転軸付/ダブルアームロボット | プロトスケース対応高速搬送 | |
| アライナ部 | OCR | ウェハID読取 複数角度可 － 出荷データ生成 |
| Z昇降軸付属 | 持ち直し動作：反り大ウェハ搬送：エッジ検査 | |
| エッジ検査ユニット | ウェハ外周部のチッピング検出・判定 | |
| プロトスケース（６,８インチ） | 画像判別センサ | ウェハ、層間紙、クッションの判別 |
| 層間紙搬送ロボット | 搬送レベルセンサ | 層間紙ケース内の搬送紙レベル、プロトスケース内のウェハレベルの検知、搬送タクトアップ |
| 層間紙ケース（６,８インチ） | 6,8インチ層間紙供給 | |