幅の方向の分解能が約0.05mmですのでスキャンピッチも同じくらいだと考えています。
ただし、ピッチを細かくするとロボットの速度も下げる必要があります。171mm/sec→約30mm/sec
最大値については特に制限はありません。どれくらいのピッチで検査を行なう必要があるかという所で決めるようになります。
幅の方向の分解能が約0.05mmですのでスキャンピッチも同じくらいだと考えています。
ただし、ピッチを細かくするとロボットの速度も下げる必要があります。171mm/sec→約30mm/sec
最大値については特に制限はありません。どれくらいのピッチで検査を行なう必要があるかという所で決めるようになります。